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这种沉积方法就是将反应气体直接通入沉积反应室中混合，在一定的温度下经过化学反应 后，薄膜材料的蒸气相在玻璃表面上形成固相薄膜。要求此反应在接近或就在玻璃表面上发生， 使生成的固相直接凝结在玻璃表面。不希望反应过程在气相下发生，否则会形成粉末状沉积物，南通优质镀膜玻璃厂家，南通优质镀膜玻璃厂家，南通优质镀膜玻璃厂家。利用化学气相沉积制备薄膜主要涉及以下几个过程，即反应气体输运、气相化学反应、初始 产物扩散、初始产物吸附与扩散、与基体异相反应、反应副产品解离脱附等过程。因此，化学气 相沉积装置主要由初始气源及其供给系统、沉积反应加热室、真空系统、废气排放系统和电源控 制系统等组成。 南通优质镀膜玻璃厂家

透明导电薄膜因其接近金属的导电率、可见光范围内的高透射比、红外高反射比以及其半导体特性而应用广。主要的应用领域有：太阳能电池、显示器、热反射镜、透明表面发热器、气 敏元件、柔性发光器件、抗静电涂层、计算机房及雷达屏蔽保护等。特别是随着平板显示器和对 太阳能利用的需求不断增大，透明导电膜玻璃的需求将会越来越大。现在透明导电膜的研究范围很广，但主要集中在透明导电氧化物薄膜。ITO薄膜具有优良 的光电性能，易刻蚀，是典型的透明导电薄膜主流产品。近年来关于ZAO薄膜的研究日益受到 关注，ZAO不仅具有ITO的基本性能而且在环境中更稳定，有望成为将来ITO的替代产品， 但目前仍处于研究和开发阶段。南通优质镀膜玻璃厂家

发展至今，镀膜方法包括溶胶-凝胶法（sol-gel)、化学气相沉积法（CVD)、蒸发法、阴极 溅射法、离子喷涂法、等离子辅助化学气相沉积法（plasma assisted CVD)等方法。目前已经出 现的各种功能薄膜包括：阳光控制Low-E膜，可以防止阳光辐射的膜层，主要用于汽车领域; 减反膜，主要由高折射率物质（Ti〇2)层和低折射率物质（Si02)层交替构成一对使用，主要应 用于计算机显示器；透明导电氧化膜（TCO)，主要包括In、Sb、Zn和Cd的氧化物及其复合多 元氧化物薄膜材料，广泛应用于太阳能电池、平面显示、特殊功能玻璃及其他光电器件领域；自 洁净玻璃薄膜，主要利用Ti〇2在光照条件下具有抗菌、分解油污和有害气体的能力，主要应用 在玻璃幕墙领域。

薄膜应力主要分为热应力和内应力。热应力主要是基片和薄膜热膨胀系数不同所导致的应力 和薄膜与基片共同受到塑性变形所引起的应力；薄膜的内应力形成的原因是薄膜生长过程中的热 收缩、晶格错配或杂质的存在、相变、表面张力等因素。目前，x射线原位应力测定被认为是分析薄膜应力的相当有效的技术之一。按照薄膜光学理 论，实验中得到的残余应力为热应力和内应力之和。XRD测量内应力的实质是测量内应变，然 后推算出内应力值。用XRD法的siW来测量是相当简单的形式，在测定中*转动试样，测得 的衍射峰是由膜中平行于表面的某一晶面所贡献的。衍射峰偏移A20是由膜生长或温度改变引起 的，因此，衍射峰位狀的测量精度仅取决于仪器如扫描的重现性

对于这种多层复合低辐射薄膜，其两层介质膜一般是金属氧化物膜（如TiO2、SnO2、ZnO 等）或类似的绝缘膜。但是两层介质层的作用却不同，与玻璃基底直接相附着的介质层用来提高 银与玻璃表面的附着力，同时兼有调节膜系光学性能和颜色的作用。而与空气接触的一层介质膜 既是减反射膜，也是一层保护膜。处于两层介质膜之间的功能膜一般是采用金、银、铜、铝等金 属元素作为该层的材料。它决定了整个膜系的辐射率，并直接影响了膜系的透射率和反射率。此 外，在金属功能膜外通常还加人一层很薄的金属或合金膜（如Ti或Ni、Cr等）作为遮蔽层，防 止银膜层被氧化而损失。南通优质镀膜玻璃制造厂家

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但是目前的研究热点主要在这些玻璃表面膜层的光学、电学、热学等功能上的研究，对其力学性 质的研究，目前还很少见报道。然而玻璃表面膜层的力学性质直接关系到玻璃的使用寿命和耐久性， 在实际工程应用中起着重要的作用。鉴于此，本节主要讨论玻璃表面薄膜的力学性质的表征及评价方 法。主要介绍膜层的硬度、弹性模量、界面结合强度及残余应力等力学性质的表征手段。南通优质镀膜玻璃厂家

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